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基于单晶压电薄膜异质衬底的射频声波滤波器研究进展

基于单晶压电薄膜异质衬底的射频声波滤波器研究进展

导航与控制
ISSN：1674-5558
2022年第21卷第3-4期
关 注

关键词: 5G通信 ； 射频前端 ； 声波滤波器 ； 单晶压电薄膜 ； 异质衬底
Key words: 5G communication ; RF front-end ; acoustic wave filter ; single-crystalline piezoelectric film ; heterogeneous substrate
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导航与控制
ISSN：1674-5558
2022年第21卷第3-4期
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