本文从物理气相输运法生长碳化硅单晶的实际装置出发,对系统中的电磁感应部分建立模型,采用有限元素法对矢势进行数值分析,进而给出系统各处的焦耳热功率密度。通过分析比较发现：在5-40kHz频率范围内。电流密度相同,较高的激励电流频率所产生的热功率密度更大,从而有利于系统内能的积聚。