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MEMS惯性技术的研究与应用综述

MEMS惯性技术的研究与应用综述

ISSN:1674-5558
2009年第8卷第2期
李丹东,严小军,张承亮 LI Dan-dong,YAN Xiao-jun and ZHANG Cheng-liang

MEMS技术是惯性技术未来主要的发展方向之一。本文介绍了国内外MEMS惯性仪表与系统的研究与应用概况,研究内容与关键技术,以及发展趋势。

MEMS is one of the main development directions of inertial technology in the future . This paper introduced domestic and international research and application status , research contents and key technique, and development trend of MEMS inertial sensor and system.

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ISSN:1674-5558
2009年第8卷第2期

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