基于ＧｅＳｉ合金的等离子体色散效应,研制了一种Ｍａｃｈ－Ｚｅｈｎｄｅｒ干涉型调制器,通过对其损耗和调制特征的测试得到：调制器对１．３μｍ光的插入损耗为６．５ｄＢ,最大调制深度达８５％,相应的π相移调制民压为０．９Ｖ,关断电流和调制区的注入电流密度分别为４０ｍＡ和０．９７ｋＡ／ｃｍ＾２。